透射电镜(TEM)作为高精密的科学仪器,其维修保养需要专业知识和规范操作。以下是湖南科研科学仪器研究院电镜工程师整理的一些基础维修保养要点,帮助延长设备寿命并确保性能稳定:
一、日常维护
清洁与环境控制
镜筒与样品室:定期用无尘布和专用清洁剂(如丙酮或异丙醇)擦拭,避免灰尘或污染物影响真空或成像。
环境温湿度:保持实验室温度恒定(±1°C)、湿度低于60%,防止电子部件受潮或结露。
防震防磁:远离振动源(如空调、电梯),避免磁场干扰。
真空系统维护
每次使用后确保真空系统正常关闭,避免突然断电。
定期检查机械泵油位和颜色(浑浊或发黑需更换),扩散泵油每1-2年更换。
电子枪维护
钨灯丝或场发射枪需避免频繁开关高压,场发射枪需定期“flashing”(加热除污)。
更换灯丝时严格按手册操作,戴手套防止污染。
二、常见故障处理
真空度不足
检查密封圈(O-ring)是否老化或污染,必要时更换。
排查阀门是否漏气,可用氦质谱检漏仪定位泄漏点。
图像模糊或漂移
检查样品是否漂移(固定不牢或热漂移)。
光路对中不良:重新校准聚光镜和物镜光阑。
像散校正:使用标准样品(如金颗粒)调整物镜消像散器。
电子枪异常
发射电流不稳定:可能是灯丝老化或污染,需清洁或更换。
高压打火:检查高压电缆绝缘性,清洁电极表面。
三、定期保养
消耗品更换
机械泵油:每3-6个月更换。
密封圈(O-ring):每1-2年更换,或发现磨损时及时替换。
光阑(Aperture):定期用超声波清洗(丙酮或乙醇),避免堵塞。
系统校准
每半年校准光轴对中、像散校正及放大倍数。
检查探测器(如CCD相机)的响应一致性。
四、操作规范
样品制备
确保样品干燥、无挥发物,避免污染镜筒。
使用镊子轻取轻放,防止样品杆划伤。
开机与关机流程
开机顺序:先开机械泵,再启动扩散泵,最后加高压。
关机时:先降高压,待扩散泵冷却后再关机械泵。
五、备件与专业支持
常用备件储备
灯丝、密封圈、泵油、光阑等易耗品需提前备货。
专业维护
复杂故障(如电子线路、探测器损坏)需联系厂家工程师。
建议签订年度维护合同,确保定期深度保养。
六、记录与培训
维护日志
记录每次维护内容、故障现象及处理方式,便于追踪设备状态。
操作培训
新用户需通过严格培训,避免误操作导致设备损坏。
注意事项
安全防护:高压部件(>100 kV)需断电后操作,避免电击风险。
辐射防护:检查X射线屏蔽是否完好,尤其在高加速电压下。
通过规范操作和定期维护,可显著降低TEM故障率,确保高质量成像和长期稳定运行。对于复杂问题,务必优先联系湖南科研科学仪器研究院的专业技术人员处理。